、電子氣體

電子工業(yè)是當(dāng)今推動(dòng)科技發(fā)展的高新技術(shù)產(chǎn)業(yè),由于所用氣體的品種多、質(zhì)量要求高,為有別于其它域應(yīng)用的氣體,人們把這類(lèi)在電子工業(yè)中用的氣體統(tǒng)稱(chēng)為電子特種氣體,它是當(dāng)今興起的高技術(shù)含量、高投入、高附加值的高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)。電子行業(yè)常用的特氣超過(guò)三十余種，按危險(xiǎn)性質(zhì)可分為不燃?xì)怏w、可燃?xì)怏w、氧化性氣體、腐蝕性氣體、毒性氣體等。按照物理形態(tài)可分為壓縮氣體、液化氣體和低溫氣體。

特種氣體的應(yīng)用域主要在集成電路制造、太陽(yáng)能電池、化合物半導(dǎo)體、液晶顯示器、光纖生產(chǎn)四大域,其中主要應(yīng)用于半導(dǎo)體集成電路的生產(chǎn)制造。在半導(dǎo)體工業(yè)中應(yīng)用的有110余種單元特種氣體,其中常用的有20～30種。

在集成電路制造應(yīng)用方面具體包括集成電路芯片制程、化學(xué)氣相沉積和氣體應(yīng)用、刻蝕和氣體應(yīng)用、摻雜和氣體應(yīng)用；在太陽(yáng)能電池應(yīng)用方面具體包括太陽(yáng)能電池的應(yīng)用、晶體硅太陽(yáng)能電池生產(chǎn)工藝和氣體應(yīng)用、薄膜太陽(yáng)能電池生產(chǎn)工藝和氣體應(yīng)用；在化合物半導(dǎo)體應(yīng)用方面具體包括化合物半導(dǎo)體的應(yīng)用、MOCVD／LED生產(chǎn)工藝和氣體應(yīng)用；在液晶顯示器應(yīng)用方面具體包括TFT／LCD的應(yīng)用、TFT／LCD生產(chǎn)工藝和氣體應(yīng)用；在光纖應(yīng)用方面具體包括光纖應(yīng)用和光纖預(yù)制棒的生產(chǎn)工藝和氣體應(yīng)用。

二、般混合氣體

由兩種以上氣體混合配制而成的氣體,而且主要標(biāo)出大致濃度,即可滿(mǎn)足使用要求,這種氣體稱(chēng)為般混合氣體。

對(duì)氣體分析儀用氣體,如含氫10%，其余是氦的混合氣以及含甲烷5%或10%，其余是氬的混合氣，被用作氣相色譜儀的載氣；含氫40%，其余是氮或氦的混合氣被用作氫火焰總烴檢測(cè)儀的燃料氣。另外,含氧20%～60%,其余是氬的混合氣被用來(lái)發(fā)生化學(xué)熒光分析儀用的臭氧。

在測(cè)定放射性物質(zhì)時(shí),使用的混合氣有下列幾種組成:含異丁烷0.95%,或含丁烷1.3%，或含丙烷1.5%，或含甲烷5%～10%，均以氦為底氣。

各種混合氣也常被用作照明燈具的充填氣和數(shù)字顯示管等的充填氣，這類(lèi)氣體大多是用下列兩種以上氣體混合而成的:氬、氖、氦、氪、氮。鹵光源生產(chǎn)則用溴甲烷、氯甲烷、溴化氫、碘甲烷、氯仿等氣體與氬的混合氣。

深海呼吸用含氧20%～60%,其余是氮或氦的混合氣。激光用氣含CO24%～16%,N210%～25%，其余是氦。

金屬熱處理保護(hù)氣可用含氫0.5%～10%,其余為氬的混合氣或二氧化碳10%～40%、20%～60%,其余為氮?dú)宓幕旌蠚狻?

光化學(xué)反應(yīng)、動(dòng)植物實(shí)驗(yàn)室和金屬腐蝕等研究用的混合氣因關(guān)系到公害問(wèn)題,所以其中二氧化氮、二氧化硫和硫化氫等都要保持低濃度。

三、標(biāo)準(zhǔn)氣體

所謂標(biāo)準(zhǔn)氣體就是用來(lái)校正測(cè)量?jī)x器、評(píng)價(jià)測(cè)定方法、給出未知樣品氣標(biāo)準(zhǔn)值的氣體。它分為調(diào)整零位用標(biāo)準(zhǔn)氣體(零位氣體)、監(jiān)測(cè)環(huán)境用標(biāo)準(zhǔn)氣、工業(yè)分析用標(biāo)準(zhǔn)氣體、醫(yī)療儀器用標(biāo)準(zhǔn)氣體、可燃性氣體泄漏用標(biāo)準(zhǔn)氣體、燃燒器尾氣用標(biāo)準(zhǔn)氣體六大類(lèi)。由于使用了標(biāo)準(zhǔn)氣,所以即使在不同場(chǎng)所測(cè)定,也具有相同測(cè)定值。

標(biāo)準(zhǔn)氣體應(yīng)用范圍很廣,在化工、石油冶金、機(jī)械、航天、電子、軍工玻璃、陶瓷、醫(yī)藥醫(yī)療、汽車(chē)、光纖、激光、潛水、環(huán)保、切割、焊接、食品加工等工業(yè)部門(mén)均使用大量的常用氣體和特種氣體。其中在石油化工域?qū)?biāo)準(zhǔn)氣體的需求量相對(duì)較大。

當(dāng)前氣體行業(yè)競(jìng)爭(zhēng)激烈,由于特種氣體行業(yè)要求氣體品種多、質(zhì)量高,而氣體產(chǎn)品屬于高技術(shù)、高附加值產(chǎn)品,所以競(jìng)爭(zhēng)與空分行業(yè)相比相對(duì)較少,但多數(shù)單位的人員素質(zhì)高、技術(shù)實(shí)力強(qiáng)。